表面粗糙度測量儀的組成部分分爲兩部分：軟件處理部分和硬件部分。

軟件處理部分主要有兩個模塊，分别是數據處理模塊和文件處理模塊。在數據處理模塊中主要論述瞭(le)表面粗糙度的參(cān)數和圖形、輪廓評定基準線和數字濾波器設計的算法，最後利用定标算法、誤差分析，對表面粗糙度測量系統做出綜合評價。在文件處理模塊中主要介紹瞭(le)對數據文件的打開、保存、打印以及圖形的處理。

硬件部分則由傳(chuán)感器、驅動(dòng)器、指零表、記錄器和工作台等主要部件組成。

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