我們都知道採用針描法原理的表面粗糙度儀由傳感器、驅動器、指零表、記錄器和工作台等主要部件組成。電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，其工作原理見圖2，在傳感器測杆的一端裝有金剛石觸針，觸針尖端曲率半徑r很小，測量時将觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅動器以一定的速度拖動傳感器。由於被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時，将産生上下移動。此運動經支點使磁芯同步地上下運動，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發生變化。
傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，於是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信号，經電子裝置将這一微弱電量的變化放大、相敏檢波後，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信号。此後，将信号分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大後推動記錄器進行記錄；另一路經濾波和平均表放大器放大之後，進入積分計算器，進行積分計算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
指零表的作用反映鐵芯在差動電感線圈中所處的位置。當鐵芯處於差動電感線圈的中間位置時，指零表指針指示出零位，即保證處於電感變化的線性範圍之内。所以，在測量之前，必須調整指零表，使其處於零位。噪聲濾波的目的在於剔除一些幹擾信号，如電氣元件的噪聲所引起的虛假信号。大量的測試表明，高於 400Hz的信号即不是被測表面粗糙度所引的信号，無損檢測資源網必須從總信号中加以剔除。所以噪聲濾波器是一種低通（低頻能通過）濾波器，它使400Hz以下的低頻信号順利通過，而将400Hz以上的高頻信号迅速衰減，從而達到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大於取樣長度的波度，因此它是一個高通（高頻能通過）濾波器，使表面粗糙度所引起的高頻（相對於波度引起的低頻而言）信号能自由通過。
經過噪聲濾波和波度濾波以後，剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的信号，再經平均表放大器後，所輸出的電流I與被測表面輪廓各點偏離中線的高度y的絕對值成正比，然後經積分器完成 的積計算，得出Ra值，由指零表顯示出來。這種儀器适用於測定0.02-10μm的Ra值，其中有少數型号的儀器還可測定更小的參數值，儀器配有各種附件，以适應平面、内外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測量。測量迅速方便，測值精度高。