儀器精度是有一定标準，如3+L/200，其表示整個(3+L/200)單位為?m、而L的單位為mm；通常影響儀器精度的是其軟硬件質量所決定，硬件包括台面、立柱的花崗岩及導軌等零組件。如無牙螺絲，光栅尺，光源，CCD等質量的好壞。花崗岩的台面和立柱不易變(biàn)形，無牙絲杆無間隙摩擦傳動，高解析度光栅尺，高像素CCD及軟件補(bǔ)償，都會造成較高的儀器精度